MEMS是什么呢？MEMS（Micro Electro Mechanical systems，微電子機械系統）是建立在微米/納米技術基礎上的前沿技術，其是一種可對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一整體單元的微型系統。