資源簡介
mems 陀螺儀 即硅微機電陀螺儀，絕大多數(shù)的 MEMS 陀螺儀依賴于相互正交的振
動和轉動引起的交變科里奧利力。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集
機械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一
體的完整微型機電系統(tǒng)
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