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    發布日期: 2021-04-10
  • 語言: 其他
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資源簡介

重摻磷直拉硅單晶的微缺陷，王鎮輝，馬向陽，本文研究了重摻磷直拉硅單晶中氧沉淀和流動圖案兩種微缺陷以及它們之間的相互關系.兩步法高溫熱處理用于形成氧沉淀.研究表明體微?

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