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    發布日期: 2021-04-10
  • 語言: 其他
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資源簡介

多晶硅的快速熱處理磷吸雜研究，李曉強，楊德仁，本文利用微波光電導衰減儀和光學顯微鏡對多晶硅的快速熱處理（RTP）磷吸雜進行了研究，發現RTP磷吸雜存在一個最佳吸雜溫度900℃。另

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