反應(yīng)濺射氮化鐵納米晶薄膜的霍耳效應(yīng)，米文博，封秀平，采用反應(yīng)濺射法制備氮化鐵納米晶薄膜。隨著氮?dú)饬髁康脑黾樱∧ぶ械闹饕鄰摩?Fe(N)轉(zhuǎn)變?yōu)棣?Fe2N，導(dǎo)電機(jī)制也從金屬性向半導(dǎo)體特性