化學(xué)氣相沉積 物理氣相沉積濺射鍍膜蒸發(fā)鍍膜2、擴(kuò)散摻雜與離子注入摻雜所形成的雜質(zhì)濃度分布各自的特點(diǎn)是什么？與擴(kuò)散摻雜相比離子注入摻雜的優(yōu)勢(shì)與缺點(diǎn)各是什么? 3、簡(jiǎn)述離子注入工藝中退火的主要作用。