SRIM是模擬計(jì)算離子在靶材中能量損失和分布的程序組。它采用Monte Carlo方法，利用計(jì)算機(jī)模擬跟蹤一大批入射粒子的運(yùn)動(dòng)。粒子的位置、能量損失以及次級(jí)粒子的各種參數(shù)都在整個(gè)跟蹤過程中存儲(chǔ)下來，最后得到各種所需物理量的期望值和相應(yīng)的統(tǒng)計(jì)誤差。該軟件可以選擇特定的入射離子及靶材種類，并可設(shè)置合適的加速電壓?？梢运悴煌Ｗ樱圆煌哪芰浚瑥牟煌奈恢?，以不同的角度入射到靶中的情況。