MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機械系統，是利用微米/納米技術基礎，對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的 21 世紀前沿技術。它將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元，不僅能夠采集、處理與發送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息采取行動。


與傳統機械系統相比，MEMS 系統具備以下優勢：
①微型化和集成化：幾何尺寸小，易于集成。采用微加工技術可制造出微米尺的傳感和敏感元件，并形成二維或三維的傳感器陣列，再加上一體化集成的大規模集成電路，最終器件尺寸一般為毫米級。
②低能耗和低成本：采用一體化技術，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技術和半導體集成電路工藝，易于實現規模化生產，成本低。
③高精度和長壽命：由于采用集成化形式，傳感器性能均勻，各元件間配置協調，匹配良好，不需校正調整，提高了可靠性。
④動態性好：微型化、質量小、響應速度快、固有頻率高，具有優異動態特性。